[SILVACO ATLAS]a-IGZO薄膜晶體管二維器件仿真(08)


進展比較慢啊...

根據江南大學碩士論文IGZO/IZO雙有源層薄膜晶體管特性的模擬研究:

 

其中,

gCBa:類受主導帶尾態

gVBd:類施主價帶尾態

gGd:類施主氧空位態

NDeep:價帶尾深施主態

gta:E=Ec時,類受主能態密度

gtd:E=Ev時,類施主能態密度

Ea:導帶尾斜率

Ed:價帶尾斜率

gd:氧空位能態密度峰值

lamda:氧空位能態標准偏差

tao:氧空位能態平均能量

Ngd:E=Egd時,價帶尾深施主態密度峰值

Wgd:價帶尾深施主態標准偏差

Egd:價帶尾深施主態平均能量

我又去找了下atlas用戶手冊的公式,如下:

 

對比就可以得到:

這畢業論文,寫,錯,公,式,了。

其實重點是我們可以得到具體的defect參數的意義。

再寫一遍,如下:

gTA:類受主導帶尾態

gTD:類施主價帶尾態

gGA:類施主氧空位態

gDD:價帶尾深施主態

NTA:E=Ec時,類受主能態密度

NTD:E=Ev時,類施主能態密度

WTA:導帶尾斜率

WTD:價帶尾斜率

NGA:氧空位能態密度峰值

EGA:氧空位能態標准偏差

WGA:氧空位能態平均能量

NGD:E=Egd時,價帶尾深施主態密度峰值

WGD:價帶尾深施主態標准偏差

EGD:價帶尾深施主態平均能量

 

根據文獻資料,提供的公式如下:

 

可得到參數間對應關系:

文章中提供的參數值如下:

即:

defect region=1 nta=5e18 wta=28 ega=0.13 nga=70 wga=45 egd=0.2 ngd=2.9e17 wgd=100

AT,AGS以及AGD含義暫時未知。

對比原定義:

defect region=1 nta=1e17 wta=0.013 wtd=0.12 ngd=6.5e14 wga=2 ntd=4.5e21 ngd=0 wgd=0

結果:

 

未完待續...


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