進展比較慢啊...
根據江南大學碩士論文IGZO/IZO雙有源層薄膜晶體管特性的模擬研究:
其中,
gCBa:類受主導帶尾態
gVBd:類施主價帶尾態
gGd:類施主氧空位態
NDeep:價帶尾深施主態
gta:E=Ec時,類受主能態密度
gtd:E=Ev時,類施主能態密度
Ea:導帶尾斜率
Ed:價帶尾斜率
gd:氧空位能態密度峰值
lamda:氧空位能態標准偏差
tao:氧空位能態平均能量
Ngd:E=Egd時,價帶尾深施主態密度峰值
Wgd:價帶尾深施主態標准偏差
Egd:價帶尾深施主態平均能量
我又去找了下atlas用戶手冊的公式,如下:
對比就可以得到:
這畢業論文,寫,錯,公,式,了。
其實重點是我們可以得到具體的defect參數的意義。
再寫一遍,如下:
gTA:類受主導帶尾態
gTD:類施主價帶尾態
gGA:類施主氧空位態
gDD:價帶尾深施主態
NTA:E=Ec時,類受主能態密度
NTD:E=Ev時,類施主能態密度
WTA:導帶尾斜率
WTD:價帶尾斜率
NGA:氧空位能態密度峰值
EGA:氧空位能態標准偏差
WGA:氧空位能態平均能量
NGD:E=Egd時,價帶尾深施主態密度峰值
WGD:價帶尾深施主態標准偏差
EGD:價帶尾深施主態平均能量
根據文獻資料,提供的公式如下:
可得到參數間對應關系:
文章中提供的參數值如下:
即:
defect region=1 nta=5e18 wta=28 ega=0.13 nga=70 wga=45 egd=0.2 ngd=2.9e17 wgd=100
AT,AGS以及AGD含義暫時未知。
對比原定義:
defect region=1 nta=1e17 wta=0.013 wtd=0.12 ngd=6.5e14 wga=2 ntd=4.5e21 ngd=0 wgd=0
結果:
未完待續...