一、UVW平台介紹
1、這是一種可以實現以平面上任意一點為中心，進行旋轉運動的裝置，並可沿着任意的方向平移。
2、此平台和視覺CCD糾偏系統對接在一起，可以很快完成高精度的糾偏工作，重復定位精度一般可達±1μm；
UVW平台和以前的xyθ平台相比，有以下幾點不同：
1、控制精度高於xyθ平台；
2、UVW平台可以平面上任意一點為中心做旋轉運動（包括無限遠）；而xyθ平台由於僅僅依靠一個電機的轉動控制，所以旋轉中心必須是固定在平台上某處（θ電機連接處），且必須隨平台一同運動。
3、基於第二點的區別，顯然UVW平台是需要一個絕對坐標系作為參考系，其旋轉中心才有意義；而xyθ平台則必須是一個隨平台動的坐標系作為參考系，這樣控制計算方法便完全不一樣了。
二、計算方法
[計算示例]
各軸腳初始坐標（固有值）
U:(Ux,Uy)
V:(Vx,Vy)
W:(Wx,Wy)
旋轉中心：（at,bt）
台面移動量（X,Y,Q）
U軸執行機構
Xd(u)=(Ux-at)xcosQ-(Uy-bt)xsinQ+at+X .......1
Yd(u)=(Ux-at)xsinQ+(Uy-bt)xcosQ+bt+Y .......2
U軸執行機構進給量St(u)
St(u)=tanQx(Yd(u)-Uy)+Xd(u)-Ux .......3
將上面公式（1），（2）帶入公式3得：
St(u)=(Ux-at)x(sinQtanQ+cosQ)+(bt+Y-Uy)xtanQ+at+X-Ux
V軸執行機構
Xd(v)=(Vx-at)xcosQ-(Vy-bt)xsinQ+at+X
Yd(v)=(Vx-at)xsinQ+(Vy-bt)xcosQ+bt+Y
V軸執行機構進給量St(v)
St(v)=tanQx(Vx-Xd(v))+Yd(v)-Vy
將上面公式（1），（2）帶入公式3得：
St(v)=(Vy-at)x(sinQtanQ+cosQ)+(Vx-at-X)xtanQ+bt+Y-Vy
W軸執行機構
Xd(w)=(Wx-at)xcosQ-(Wy-bt)xsinQ+at+X
Yd(w)=(Wx-at)xsinQ+(Wy-bt)xcosQ+bt+Y
W軸執行機構進給量St(w)
St(w)=tanQx(Wx-Wd(w))+Yd(w)-Wy
將上面公式（1），（2）帶入公式3得：
St(w)=(Wy-bt)x(sinQtanQ+cosQ)+(Wx-at-X)xtanQ+bt+Y-Wy
簡單說明一下視覺對位和運動控制思路：
1、通過UVW平台供應商提供的說明書，找到機械參數，得到UVW三個軸的初始坐標（基於UVW平台原點坐標系）；
2、通過視覺標定方法，確定相機坐標系到UVW平台坐標系的轉換矩陣；確定標志物模板基於UVW平台原點坐標系的坐標值（x_m, y_m）；
3、通過相機得到標志物模板位置和待糾偏標志物之間的x、y、θ偏移量（基於UVW平台原點坐標系）；
4、按照上圖公式，輸入三個軸初始坐標，設置旋轉中心為(0,0)，輸入θ偏移量，可得到UVW三軸新的坐標值，以及待糾偏物體的新的坐標，以及三個電機對應的給進量A1、A2、A3；
5、輸入上一步求得的UVW三軸新的坐標值，另外通過上一步求得的待糾偏物體的新的坐標，計算得此時待糾偏物體到模板點位置的x2、y2偏移量；輸入x2、y2偏移量，則可以得到三個電機對應給進量B1、B2、B3；
6、將5和6步獲取的三個電機的給進量對應相加，分別得到對應電機給進量C1、C2、C3，並用此給進量驅動對應電機即可。即是，將運動過程拆解，變成平移和旋轉部分，分別計算電機給進量。