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等離子體技術【五】--電容耦合射頻放電CCP

本文轉載自   查看原文   2021-07-13 21:47   171    等離子體電源

摘自《等離子體放電原理與材料處理》1.3.1

 

摘自《等離子體蝕刻及其在大規模集成電路制造中的應用》2.3.1

 

 

 

 


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