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等离子体技术【五】--电容耦合射频放电CCP

本文转载自  查看原文  2021-07-13 21:47  171    等离子体电源

摘自《等离子体放电原理与材料处理》1.3.1

 

摘自《等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用》2.3.1

 

 

 

 


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