薄膜產品技術亮點
工作原理
原子層沉積技術是將要參與反應的前驅物藉由不同的前驅物導管,如圖1所示,一次只通入一種前驅物的方式,依序地將前驅物導引至反應腔體。並藉由基材表面飽和化學吸附,一次只吸附一層前驅物,過多的前驅物及副產物將由鈍氣Ar或N2沖洗(purge)帶走,以達自我限制。

如圖1所示,一個基本的原子層沉積循環包括四個步驟:
1.第一前驅物將被導引至基材表面,化學吸附的過程直至表面飽和時就自動終止。
2.鈍氣Ar或N2及副產物。注入,沖洗帶走過多的第一前驅物
3.第二前驅物注入,並和化學吸附於基材表面的第一前驅物反應生成所需薄膜,反應的過程直至吸附於基材表面的第一前驅物反應完成為止。注入,沖洗帶走過多的第二前驅物
4.鈍氣Ar或N2及副產物。
這種反應過程:第一前驅物注入、沖洗、第二前驅物注入、沖洗,稱之為一個循環(cycle)。而一個循環所需的時間即是第一、二前驅物的注入時間加上兩個沖洗時間的總和。因此整個反應的時間便是循環數乘以一個循環的時間。

原子層沉積(ALD)之優點
原子層沉積技術優勢如圖2所示,由於原子層沉積技術的表面反應具有自限制性,不斷重復這種自限性可以制備出所需精確厚度的材料,並且具有很好的台階覆蓋率及大面積厚度均勻性,連續生長使得納米薄膜材料無針孔,密度高。

原子層沉積(ALD)由於表面飽和化學性吸附及自我限制的反應機制,使得原子層沉積(ALD)擁有下列優點:
1.透過循環數的控制,可以精確地控制薄膜的厚度(圖3)。
2.由於表面飽和的機制,因此不需要控制前驅物流量的均一性。
3.可生成高圴勻性薄膜(圖3)。
4.傑出的高深寬比的階梯覆蓋能力(圖4)。

超級三防膜

超級三防膜
超級三防膜介紹
電子設備在惡劣環境條件下的耐久性是工業和消費電子領域的主要研究內容。在電子應用中,電子組件會暴露在惡劣環境中(例如,高溫、水、蒸汽、酸、有機溶劑、鹽等及其組合), 這可能導致電子組件和電路快速失效。在消費電子產品中,最常見的惡劣環境暴露是意外性水浸。
LED在惡劣環境下使用是消費電子領域上的一個經典例子。保護LED的需求越來越迫切, 特別對於戶外使用的LED。 用於保護LED的塗層有很多種。包括派瑞林、保形CVD塗層、超薄含氟聚合物和封裝材料等。其中, 派瑞林的效果較顯着, 它能提供防水、防潮、防塵「三防」作用。派瑞林鍍膜技術廣泛用於航空航天、電路板、LED 、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、醫療器械、珍貴文物等領域。然而,派瑞林在惡劣環境下, 經過若干時間使用后, 便會失效。到目前為止, 沒有任何一種材料工藝能夠在不大幅度增加生產工藝成本的情況下提供完美的保護,最終也會增加電路板和產品的成本。
超級三防膜優點
超級三防塗層, 塗層有以下優點:
1.水蒸氣透過率(WVTR)優於派瑞林,因此塗層對LED或電子產品的防水性更高
2.塗層附着力更好,因為它共價結合到基底上。電路上的元器件壽命會更長。
3.塗層具有更強的抗紫外線(UV)穩定性,而派瑞林一般不穩定。這是LED保護塗層的一個重要標准。
4.塗層保持>99%透明(不損LUX), 這對LED來說同樣重要。
5.超級三防塗層厚度比派瑞林小2-5倍, 這有助於光傳輸和電連接。
6.塗層具有良好疏水性,可以防水,有助提升於塗層的性能表現。
超級三防膜功能特點
艾德超級三防塗層的防護性能優於其他傳統方法制備的塗層。它提供了更好物理和化學性能,以保護電路和元器件。目前在LED應用的一個主要問題是薄膜覆蓋在LED上時產生的光損耗。對於艾特德三防塗層,塗層的光損失為零,這是一個很大的優勢。而且,這種塗層材料耐高溫和紫外線輻照。該塗層可在300攝氏度的溫度下保持穩定,並且不會在紫外線照射下分解。另外,它也是疏水的。這種特性可以排斥表面的水分,極大地改善薄膜的性能。
超級三防膜產品對比

吊燈應用納米抗氧膜
納米抗氧膜在裝飾塗層上的應用
裝飾性塗層(無論PVD或電鍍)已廣泛應用在不同的商業外觀件上:它們包括金色、黑色、銀色、藍色,粉紅金等。裝飾性外觀件制成后一般都要通過嚴苛的工業測試,如加溫防氧化,72小時人工汗及鹽霧等。因為塗層本質上有針孔,腐蝕介質很容易通過這些缺陷而令基材產生腐蝕,,所以塗層很多時都不能通過測試。另外塗層的先天抗氧化能力也不高,如粉紅金,塗層本身有Cu的成分,Cu很容易擴散出塗層表面並氧化,所以時間久了,顏色便會越來越深,造成外觀有很大的差異。
納米抗氧膜優勢
1.納米抗氧膜因致密度高,能有效地封阻腐蝕介質進入塗層及基材而引起腐蝕問題。
2.能充當屏障,防止塗層與空氣因氧化而變色。
3.膜本身是透明的,所以能保留原材的顏色。
4.膜的硬度可達HV2000以上,所以能為裝飾性塗層提供一定的保護作用。
效果對比

納米抗氧膜在鍾表上的應用:納米抗氧膜能有效地為PVD粉紅金通過人工汗及鹽霧測試(72小時)。

納米抗氧膜在鍾表上的應用:納米抗氧膜能有效地在高溫測試下(300OC)防止PVD粉紅金因氧化而變色 (ΔE<1);一般市場上的有機抗氧膜大約只可抵受80oC以下的溫度。
