ALD和CVD晶體管薄膜技術
ALD和CVD晶體管薄膜技術 現代微處理器內的晶體管非常微小，晶體管中的一些關鍵薄膜層甚至只有幾個原子的厚度，光是英文句點的大小就夠容納一百萬個晶體管還綽綽有余。ALD 是使這些極細微結構越來越普遍的一種技術。 ALD 工藝直接在芯片表面堆積材料，一次沉積單層薄膜幾分之一的厚度，以盡可能生成 ...
原文：CVD和ALD薄膜沉積技術應用領域
CVD和ALD薄膜沉積技術應用領域 顯示 用於OLED QD OLED 甚至未來QLED的薄膜封裝，通過有機 無機疊層結構的保護，水汽滲透率WVTR可降至 g m day，保證OLED或者量子點發光材料的穩定。另外量子點光學膜QDEF也需要WVTR小於 . 的阻隔膜，保護量子點不受水氧破壞。 微電子 在包括miniLED microLED MMIC Monolithic microwave int ...
2021-05-17 06:22 0 1651 推薦指數：
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