MEMS陀螺儀的精度決定了陀螺穩定裝置的精度. 在干擾力矩的作用下, 運行中的陀螺儀會產生漂移誤差, 而且漂移誤差使得系統誤差隨着時間的推移不斷累積. 如果不采取適當的措施, 在長時間的運行過程中, 累積的系統誤差會大大降低運載體控制和導航系統的精度。為了彌補系統誤差，需要對陀螺儀進行校准。
陀螺儀誤差的主要來源為：零偏誤差，比例因子和噪聲。
偏置誤差會給傳感器的輸出響應帶來固定誤差，使靜止的器件看起來好像在旋轉，最終結果是角度測量誤差不斷累積，相當於偏置誤差和累積時間的乘
積。
只有運動時，比例因子誤差會導致位移測量誤差。與相關測量積分時間成反比的噪聲會導致測量出現隨機誤差。分析此種影響的一種常見工具是 Allan 方差法，該工具可得出偏置估算值相對於積分時間的變化情況。
估算零偏誤差的一種簡單方法是是保持器件位置不變，然后求取MEMS 陀螺儀輸出的平均值。
陀螺儀的 Allan 方差曲線可以幫助分析測試時間（即平均時長）和偏置精度之間的權衡關系。
陀螺儀誤差采用標准的轉台進行校准。
step1. 接通陀螺儀穩定在第一個位置，穩定后開始測量輸出值；
step2. 等待幾秒鍾后，在一定時間內平滑旋轉90度后,到第二個位置；
step3. 重復步驟1和2.
測量結束后，根據采集到的陀螺儀數據和轉台數據，進行數據分析：