集成電路制造工藝概述


一、從沙子到芯片

1.簡單地說,處理器的制造過程可以大致分為沙子原料(石英)、硅錠、晶圓、光刻(平版印刷)、蝕刻、離子注入、金屬沉積、金屬層、互連、晶圓測試與切割、核心封裝、等級測試、包裝上市等諸多步驟,而且每一步里邊又包含更多細致的過程。

Sand→sillicon→chip

 

2.Si 地殼中,沙子

硅熔煉: 12英寸/300毫米晶圓級(直徑)。通過多步凈化得到可用於半導體制造質量的硅。

學名電子級硅(EGS),平均每一一百萬個硅原子中最多只有一個雜質原子。

通過硅凈化熔煉得到大晶體,最后得到的是硅錠(Ingot)

沙子→精煉硅錠→晶圓wafer制備(橫向切割)→集成電路制作

 

3.集成電路制造過程

(1)光刻

光刻膠(Photo Resist) :在晶圓旋轉過程中澆上去的光刻膠液體

光刻(mask上的圖案照在光刻膠上):光刻膠層隨后透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下,變得可溶,期間發生的化學反應類似按下機械相機快門那一刻膠片的變化。掩模上印着預先設計好的電路圖案,紫外線透過它照在光刻膠層上,就會形成微處理器的每一層電路圖案

一塊晶圓上可以切割出數百個處理器

 

(2)微圖形刻蝕階段:

溶解光刻膠:光刻過程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致。

蝕刻:使用化學物質溶解掉暴露出來的晶圓部分,而剩下的光刻膠保護着不應該蝕刻的部分。

清除光刻膠:蝕刻完成后,光刻膠的使命宣告完成,全部清除后就可以看到設計好的電路圖案。

 

(3)器件制備:源漏摻雜,柵極沉積

CVD(化學與氣相沉積) :沉積多晶硅柵。

光刻膠:再次澆上光刻膠(藍色部分),然后光刻、並洗掉曝光的部分,剩下的光刻膠

還是用來保護不會離子注入的那部分材料。

離子注入(Ion Implantation) :

在真空系統中,用經過加速的、要摻雜的原子的離子照射(注入)固體材料,從而在被注入的區域形成特殊的注入層,並改變這些區域的硅的導電性。經過電場加速后,注入的離子流的速度可以超過30萬千米每小時。

清除光刻膠:離子注入完成后,光刻膠也被清除,而注入區域(綠色部分)也已摻雜,注入了不同的原子。注意這時候的綠色和之前已經有所不同。

 

至此,晶體管已經基本完成。

(4)互連電鍍的制備---晶體管互連用的

在絕緣材料(品紅色)上蝕刻出三個孔洞,並填充,以便和其它晶體管互連。

電鍍:在晶圓上電鍍一層硫酸銅,將銅離子沉淀到晶體管上。銅離子會從正極(陽極)走

向負極(陰極)。。

銅層:電鍍完成后,銅離子沉積在晶圓表面,形成一個薄薄的銅層。

 

拋光:將多余的銅拋光掉,也就是磨光晶圓表面。

(5)多層互連金屬制備

金屬層:晶體管級別,六個晶體管的組合,

 

 (6)測試,切割,挑選

■晶圓測試:內核級別,大約10毫米/0.5英寸。圖中是晶圓的局部,正在接受第一次功

能性測試,使用參考電路圖案和每一塊芯片進行對比。

■晶圓切片(Slicing) :晶圓級別, 300毫米/12英寸。將晶圓切割成塊,每一塊就是一個處理

器的內核(Die)。

■丟棄瑕疵內核:晶圓級別。測試過程中發現的有瑕疵的內核被拋棄,留下完好的准備進入

下一步。

 

(7)封裝

■單個內核:內核級別。從晶圓上切割下來的單個內核,這里展示的是Core i7的核心。

■封裝:封裝級別,20毫米/1英寸。襯底(基片)、內核、散熱片堆疊在一起,就形成了我們看到的處理器的樣子。襯底(綠色)相當於-一個底座,並為處理器內核提供電氣與機械界面,便於與PC系統的其它部分交互。散熱片(銀色)就是負責內核散熱的了。

 處理器:至此就得到完整的處理器了(這里是顆Core i7)。

 

(8)等級測試:

最后一次測試,可以鑒別出每一顆處理器的關鍵特性,比如最高頻率、功耗、發熱量等,並決定處理器的等級,比如適合做成最高端的Core i7-975 Extreme,還是低端型號Core i7-920。

 

 

二、工藝概述

1.微電子工藝:是指用半導體材料制作微電子產品的方法、原理、技術。

 

 

 

2.體現集成電路工藝技術水平的三個技術指標

(1)特征尺寸: (Feature Size)/(Critical Dimension)

特征尺寸定義為器件中最小線條寬度(對MOS器件而言,通常指器件柵電極所決定的溝道幾何長度)減小特征尺寸是提高集成度、改進器件性能的關鍵。特征尺寸的減小主要取決於光刻技術的改進。集成電路的特征尺寸向納米尺度發展,目前的規模化生產是16nm、

10nm工藝,TSMC以及三星目前將大部分芯片生產制程轉換到7nm。

(2)晶片直徑(Wafer Diameter) :

為了提高集成度,可適當增大芯片面積。然而,芯片面積的增大導致每個圓片內包含的芯片數減少,從而使生產效率降低,成本高。采用更大直徑的晶片可解決這一問題。晶圓的尺寸增加,當前的主流晶圓的尺寸為12時,正在向16時晶圓邁進。

(3)DRAM的容量:

RAM (Random-AccessMemory)隨機存取存儲器分為動態存儲器DRAM(Dynamic)和靜態存儲器SRAM(Static)。

3.工藝技術

1)       原始硅片工藝:硅單晶拉制到最終形成作為IC襯底和有源區的硅片的一整套工藝技術。

2)       摻雜工藝:包括各種擴散摻雜和離子注入摻雜技術。

3)       微細圖形加工工藝:包括圖形的復印和刻蝕轉移兩個方面。

4)       介質薄膜工藝:包括各種熱生長技術和各種CVD技術。

5)       互連用的金屬薄膜工藝

 


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