先進工藝中的Cut Metal與 Metal Extension技術


在先進工藝中,foundry使用cut metal來實現更小的end-of-line spacing,與cut metal技術相伴隨的是metal extension。今天,小姐姐我希望能和大家一起學習下cut metal和metal extension,並分享一些debug相關問題的經驗。

如圖所示,使用了cut metal技術后(將完整的metal shape 刻蝕斷開為獨立的shape),可以實現更小的end-of-linespacing。

 

 ICC2 支持cut metal技術從P&R到signoff的實現。通常Layer 1 的cut metal只能插在固定的位置( preferred grid ),Layer 2cut metal無固定位置(請具體參照對應工藝)。下圖為創建好的Layer1的track,track上的箭頭(preferred grid)表示了cut metal可以存在的地方。因此,我們首先需要正確的創建好track。

 

 

在先進工藝中,通常對M1 Pin shape或者metal shape有minArea要求。當不滿足minArea要求時,我們需要進行metal extension,來滿足minArea要求。下圖示意了需要進行metal extension的shape。

 

 在ICC2中,所有route相關的命令都可以自動判別哪些metal shape不滿足minArea要求,並進行metal extension。例如clock_opt -from route_clock,route_auto/route_detail/route_opt/route_eco/route_group等。值得注意的是,M1 的PG shape 如果不滿足minArea的要求,ICC2也會自動extension。

 

 

 

 

How to Debug

在小伙伴們的實際使用過程中,有些小伙伴們會遇到ICC2報了很多minAreaDRC后發現工具沒有做metal extension的問題。首先可以明確的是,在所有輸入正確的情況下ICC2一定可以正確的進行metal extension。如果沒有,那一定是有哪里輸入錯誤了。下面,我簡單分享一下在實踐中遇到過的metal extension出錯的實例。

1.      全部net沒有metal extension。首先,我們要檢查是否正確創建了track,track上的preferred grid是否正確。值得注意的小tips,從第三方工具讀入def時,preferred grid信息會丟失,因此,需要重新創建低層track。其次,我們要檢查是否正確創建了routing guide。我們可以用下面這個命令根據boundary cell來自動創建routing guide : set_boundary_cell_rules -add_metal_cut_allowed

2.      全部PG沒有metal extension,而signal 繞線有metal extension。這種情況下我們需要檢查PG physical_status是否為don’t_touch或者is_fixed?

3.      部分cell的signal net沒有metal extension。需要檢查cell是否正確legalize,cellpin的color是否正確(與track的color一致)。

4.      部分PG沒有metal extension。檢查是否正確設置了set_app_option -name route.common.disable_net_type_blockage -value false。原因如下,standard cell內部的routing_blockage 的net_type為:analog_signal, clock , reset, scan ,signal。也就是說routing_blockage的net_type不包括PG mesh, 為何PG extension 被blockage了呢?route.common.disable_net_type_blockage 的default value 為false。當錯誤的設置為true后,routing_blockage將不再根據net_type來區分是否阻擋某種net,而是blockage所有net。因此將block住PG extension。

 


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