SIMS(secondary ion mass spectroscopy)二次離子質譜

1.儀器介紹 二次離子質譜（SIMS）是一種用於通過用聚焦的一次離子束濺射樣品表面並收集和分析噴射的二次離子來分析固體表面和薄膜的組成的技術。SIMS是最靈敏的表面分析技術，元素檢測限為百萬分之幾到 ...