SECS半導體設備通訊-4 GEM通信標准
一 概述 GEM標准定義了通信鏈路上的半導體設備的行為。 SECS-II標准定義了在主機和設備之間交換的消息和相關數據項。GEM標准則定義了在哪種情況下應該使用哪些SECS-II消息以及由此產生的結果行為。圖1.1說明了GEM、SECS-II和其他通信替代方案之間的關系。 GEM為所有半導體 ...
原文：SECS半導體設備通訊-1 SECS的基本概念
一 什么是SECS SECS SEMI Equipment Communication Standard ，半導體設備通訊標准。 此標准由SEMI Semiconductor Equipment and Materials International 國際半導體設備與材料產業協會 制定，用來統一各個生產設備之間以及生產設備和控制設備之間的通訊。 SECS標准包括SECS I SECS II HSM ...
2022-03-24 10:44 0 4708 推薦指數：
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