介紹SECS/GEM
SEMI SECS/GEM標准概述
SECS/GEM是由國際半導體設備與材料協會（SEMI）制定的連接性標准。此連接性標准用於在設備和工廠的資訊和控制系統間建立通訊。
SECS是SEMI設備通訊標准的縮寫。GEM指SEMI連接性標准E30，被定義為制造設備實現通訊和控制的一般模型。
一般來說，SECS/GEM標准定義了信息、狀態機和情境，來讓工廠軟件能夠控制並監視制造設備。正式名稱是SEMI連接性標准E30。
在實現SECS/GEM標准的工廠內，存在主機和設備這兩方。由設備在其中一台必須實施和遵守SEMI E30標准的計算機上運行軟件。由制造商（工廠）運行與設備接口建立通訊的主機軟件。
主機無需遵守完整的連接性標准，因為它只設定設備的預期行為。不過，若要使用接口，主機必須進行主機端通訊。SECS/GEM為每條可能的主機信息設定了清晰的設備預期行為。
通訊
SECS/GEM SEMI連接性標准定義了主機和設備開始建立通訊的方式，並且還定義了當通訊中斷時重新建立通訊的方式。在線識別方法負責驗證設備的硬件和軟件標識。終端服務功能允許主機操作員和設備操作員在控制台上交換手動輸入的文本。
控制
SECS/GEM SEMI連接性標准概括了主機與設備操作員之間的合作等級的控制狀態模型。設備提供三種基本的主機控制等級：離線，在線/本地，以及在線/遠程，確定了主機控制和監控設備的能力。設備操作員設定主機控制的等級。遠程控制功能允許主機發送諸如“啟動”、“停止”、“暫停”、“繼續”和“中斷”這樣的指令，用以控制設備的工作過程。
運作通知
收集事件和警報功能使主機能監控設備的運作情況。設備收集事件功能會將重要的正常活動和異常活動通知主機。當潛在的危險活動出現並隨后被清除時，設備警報功能會通知主機。主機設定哪些收集事件和警報需要通知。SECS/GEM連接性標准要求特定的事件必須有通知，但一般會給設備定義額外的事件，以便主機監控具體設備相關的活動。