SECS(SEMI設備通信標准)/ GEM(通用設備模型)


SECS(SEMI設備通信標准)/ GEM(通用設備模型)標准以確定的方式完成所有這些工作。由SEMI(半導體設備和材料國際)組織開發,該標准定義了一套通用的設備行為和通信能力。

了解下半導體設備現場的通訊協議,對於GEM的開發是半導體設備管理/生產/維護軟件的一部分。

SECS / GEM是用於設備到主機數據通信的半導體設備接口協議。在自動化工廠中,接口可以啟動和停止設備處理,收集測量數據,更改變量並為產品選擇配方。

SECS(SEMI設備通信標准)/ GEM(通用設備模型)標准以確定的方式完成所有這些工作。由SEMI(半導體設備和材料國際)組織開發,該標准定義了一套通用的設備行為和通信能力。 

通用和控制制造設備(GEM)標准的通用模型由非營利組織半導體設備和材料國際(SEMI)維護和發布。

一般來說,SECS / GEM標准定義了消息,狀態機和場景,以使工廠軟件能夠控制和監控制造設備。

GEM標准正式指定並稱為SEMI標准E30,但通常簡稱為GEM或SECS / GEM標准。為支持半導體設備制造商的制造自動化程序提供功能性和靈活性, GEM是SECS-II標准SEMI標准E5的標准實施。半導體(前端和后端),表面安裝技術,電子組件,光伏,平板顯示器和其他制造行業中的許多設備在制造設備上提供GEM / SECS接口,以便工廠主機軟件可以與機器通信用於監視和/或控制目的。由於GEM標准是用很少的半導體特性編寫的,因此它可以應用於任何行業的幾乎任何自動化制造設備。


所有符合GEM的生產設備都具有一致的界面和一定的行為。 GEM設備可以使用TCP / IP(使用HSMS標准,SEMI E37)或基於RS-232的協議(使用SECS-I標准,SEMI E4)與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每台設備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進行監控和控制。 還有許多額外的SEMI標准和工廠規范參考了GEM標准的特點。這些附加標准是特定行業或特定設備類型。


半導體前端 半導體前端行業定義了一系列稱為GEM300標准的標准,其中包括SEMI標准E40,E87,E90,E94和E116,並參考E39標准。每個標准都為GEM界面提供了額外的功能,但基於GEM E30標准中的功能。全球300毫米工廠使用底層GEM標准的數據采集功能,以監測特定設備活動,如晶圓移動和工藝作業執行。為了實現制造自動化,幾乎每個300mm晶圓制造工具都需要SECS / GEM標准和額外的GEM300標准。 半導體后端產業中的眾多設備實施了GEM標准,其他標准已經實施,例如測試專用設備型號的SEMI E122標准和處理器設備專用設備型號的SEMI E123標准。 表面貼裝技術 表面貼裝技術行業的許多設備都支持GEM標准,包括芯片貼裝,焊膏,烤箱和檢測設備。

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