Cmos sensor stack (以手機相機為例)、sensor floorplan (平面構造圖)、光子(Photon)與量子效率(quantum efficiency)、與量子效率QE有關的幾個重要概念、感光過程、讀取過程、Sensor動態范圍、Sensor時序、Noise in Sensor、Crosstalk 對 noise的影響。
1. CMOS sensor內部結構
如上的構造和堆棧類似,光線進入物鏡、通過IR cut(過濾掉紅外光)、進入Micolens (sensor 每個像素上都有一個微鏡頭,更利於聚光)、ColorFilter(用來過濾出光線中的R\G\B顏色分量的濾光板)、透射到Sensor Array(像素陣列,是bayer格式)、最后是PCB電路板;
2. CMOS sensor整個平面構造圖(floorplan)
Optical Black:光遮斷黑電平,用金屬遮蓋住這一部分的光線,讓其完全不感光,體現出的顏色就是Optical black;
Dummy border: 不用的一部分像素;
Power management:電源管理模塊;
Control/processing/memory:有OTP、....
READOUT:輸出電路,把感光元器件的感光值變為數字值,給讀出來;
每個有效像素都是下圖中的結構(反向偏置的感光二極管+MOS電容),當在二極管上施加反向偏置電壓時,他就變成了一個電容,加反向電壓就是給電容充電,在二極管里面形成電荷,對於這種光電二極管來說,當反向充電充滿后,由於光子的攝入,會導致內部激發出新的電子和供缺對,與原來充電形成的電子和供缺對進行配對放電,形成電流(l_ph),由於光子的激發產生的光電流,光電流經過右邊的電容器累計電荷進行充電的動作,把電流變成電壓輸出出去,這就是一個基本的感光元件的基本結構,不止camear sensor,其他光譜產品也是用的類似結構;
3.光子(Photon)與量子效率(quantum efficiency)
自然界中有不同頻率的光線,如果我們簡單來說分成RGB三種頻率的光線,由於RGB的頻率不同,所載有的能量也是不同的,以藍光子為例,所載有的能量為4.41E-19焦耳,單個光子的能量E=hc/普朗克常量,那么一束光子的能量就等於所有光子能量的總和Total_Power=sum_of(all photons)。量子效率QE定義為,在一個camera sensor里面,經過color filter透射過來的光子轉變成電荷的的效率,如果透射過來三個光子,產生出來一個電子空穴對,那么這個效率就是1/3。
光子能量:E=h(普朗克宏量)* c(光速)/ λ(光的波長)
總能量:Total_Power=sum_of (all photons) 所有光子能量的和 ;
量子效率:QE=1/3 in this case (如上圖,3個光子形成1個電荷);
4.與量子效率QE有關的幾個重要概念
QE是衡量某個顏色通道某個頻率/波長的光子轉換成電子的效率,在不同的波長上QE是不一樣的。
camera sensor可以感受近紅外的波段,這個不符合人眼視覺的感受的,需要用IR cut把近紅外的波段去除掉,否則紅色通道感光就會過強,這樣出來的圖像就會偏紅。
像素不能夠被一個顏色的光激發的現在叫crosstalk,理想情況crosstalk為0。
sensitivity感光度:同樣的光子能夠激發出的電荷
sensitivity=QE*pixel_size QE越高激發出來的電荷越多,pixel_size越大激發出來的電荷越多
5.感光過程
充電:先對光電二極管進行充電,N是電子,P是空穴(模擬電路中的兩種載流子,帶有負電荷和正電荷),當對二極管施加反向電壓時,就相當於對二極管的容性進行充電,在二極管上就形成了如圖,上面4個電子,下面4個空穴;
感光:當有光子進來時,光電二極管進行光電效應,就會激發一個電子和空穴的配對,就會與原來存在的電子和空穴進行融合(正負融合)就形成了光電流,光電流在mos電容上面形成充電效應,就會產生一個電壓的變化,如果原來是0,現在增加的就是△V;
放電:從二極管的角度來看,電荷數也就是電子數和空穴數變少了(光子激發了電子和空穴的配對),△Q(電荷變化) =Ne (光子數) * e (單個電荷的能量) * QE (光電轉換效率);Q (電容)= V * C(電容的大小),△V =△Q/C (電容處輸出的電壓,對應上了電荷的變化,也就是把光電效應和輸出電壓聯系起來了,實現了光子到電壓的轉換,后面會再有進一步的電路再去處理電壓值);
6.讀取過程
如下,經過感光過程得到從e到v的變化,實現了感光程度可以量化的一個數值,接着信號經過模擬放大器放大,接着通過AD轉換器,變為數字信號;
從時間軸上來看,Reset (充電過程),把所有光電二極管充滿電,讓其變為Full Well,接着等待一段時間進行感光(也就是曝光時間),最后讀取電路,總共對Sensor操作的時間為:
Total_time =reset_teme + exposure_time +readout_time(reset_time比較小,有時計算不精確時,可以忽略掉);
7.動態范圍
如圖,中間部分為器件感光部分(用來存儲光生電荷的電場,叫勢阱),勢阱越大。能容納的電子越多,Sensor的動態范圍則越大,這涉及到如下幾個概念:
1、Full well Capacity:電荷累積到一定程度,勢阱滿了,電荷就會溢出,所以電荷累計到什么程度勢阱會滿的程度就叫Full well;
2、Dark Current: 勢阱底部始終存在不感光的電荷,他是與物理器件、半導體的工藝缺陷,是無法避免的,也是造成black level的原因;
3、Fill Factor:是中間感光部分的阱的面積除以整個PCB的面積;
Dynamic Range = Saturation/black level (Saturation由Full well決定,black level由Dark Current決定,對WDR的sensor來說是一個非常重要的指標);
8.Sensor時序
每次曝光結束時,就會有相應的讀出電路,把信號讀出來,就可以得到當前光電二級管的電壓值,這就是sensor操作的一個時序;
9.Noise in Sensor
時域噪聲--- KTC Nosie(readout)、PhotonShoNoise、DarkCurrentNoise、PowerNoise
空域噪聲--- DefectPixel、ROW/ColumnNoise、PRNU、DSNU
10、Crosstalk對 noise的影響