（1）參數掃描：
本頁介紹如何使用內置的掃描實用程序運行參數掃描。 參數掃描可用於找到參數的最佳值，以及研究設計性能對某些參數的敏感性，或使用一組可變的參數運行一系列仿真。 我們將在一個簡單的示例中演示如何使用參數掃描功能：在硅上找到抗反射（AR）層的最佳厚度。 最佳厚度是在操作波長下給出最小反射的厚度，在此示例中為500 nm。
參數掃描面板的屬性：
①NAME:該參數掃描過程的名稱
②Parameters:
TYPE- RANGES:用開始/停止值指定掃描點。 所有值將線性間隔。
TYPE - VALUES:手動指定每個掃描點。 允許非線性間隔的掃描值。
NUMBER OF POINTS:參數掃描中的點數。
NAME:用戶指定的參數名稱。 將出現在結果數據集中。
PARAMETER:選擇要掃描的具體參數
TYPE:用於指定所選屬性的單位類型（例如，長度，時間）。
START/STOP:使用“RANGES”選項時，掃描的開始/停止值。
VALUE_1,2,3,...:使用VALUES選項時的特定掃描值。
ADD:在參數表中添加另一行。
REMOVE:從參數表中刪除一行。
③Results
NAME: 用戶為結果指定的名稱。 將出現在結果數據集中。
RESULT:收集的結果。
OPERATION:（可選）對結果應用簡單的數學運算。 支持的運算為“求和”，“均值”，“積分”。
④Advanced
RESAVE FILES AFTER ANALYSIS:（可選）在運行分析腳本之后重新保存項目文件。 當分析腳本運行緩慢時，這將很有幫助。
（2）創建參數掃描的步驟：
1.創建 一個結構組，在結構組中用腳本語言指定參數。
2.在右側optimizations and sweeps面板中新建一個參數掃描，並設置相應的參數，如果指定了兩個或多個參數，則他們必須具有相同的尺寸（即點數）。每個掃描步驟將一次更新一列的所有參數值，這與嵌套掃描不同。確保參數掃描名稱中沒有句點，否則，運行掃描時會導致“找不到文件”錯誤。
3.運行參數掃描：參數掃描數據以類似於監視數據的方式保存。 可以右鍵單擊結果視圖或參數掃描項目中的結果，以選擇要在可視化工具中顯示的任何掃描結果。
4.也可以使用腳本獲得參數掃描中的結果：
R = getsweepresult("thickness_sweep","R");
plot(R.thickness*1e9, R.T, "AR thickness (nm)","R");
我們可以看到最佳厚度約為60 nm。 為了找到精確的值，我們可以在更多點重復參數掃描，或者減小我們考慮的厚度范圍。 或者，我們可以考慮使用“優化”項目（“優化設計”）來找到反射最小的厚度。
（3）參數優化：
