一、引言 　　Micro LED是继OLED之后新一代显示技术，近年来受到广泛关注。Micro LED是将传统LED进行薄膜化和微小化，使其体积达到主流LED的1%，像素点距离由毫米达到微米的一项技 ...

1.静电力转移技术 　　静电力转移技术是由LuxVue[1]于2013年提出，通过对转移头通电产生的静电引力或斥力作为拾取和放置微器件的方法。转移装置如图1a所示，单个转移头由带有可独立通电的单电极 ...

图1 图2 图3 图4 图5 图6 ...

　　在最短的时间内处理大面积区域通常是工业加工的必要条件。基于激光的非接触式转移技术通过聚焦透镜将光束聚焦为特定大小的光斑，具备较高的空间精度，并且对样品表面的损害最小，具有选择性加工的特点。而图案阵 ...