1.静电力转移技术 　　静电力转移技术是由LuxVue[1]于2013年提出，通过对转移头通电产生的静电引力或斥力作为拾取和放置微器件的方法。转移装置如图1a所示，单个转移头由带有可独立通电的单电极 ...

图1 图2 图3 图4 图5 图6 ...