EUV光刻机市场与技术
EUV光刻机市场与技术 EUV光刻机市场 EUV光刻机已经成为芯片制造的支柱，台积电和三星等晶圆厂这几年不断追逐5nm和3nm等先进工艺，本身就是EUV光刻机采购大户，再加上现在这几大晶圆厂纷纷扩产建厂，无疑又加大了对EUV光刻机的需求。 除了晶圆厂等逻辑厂商之外，存储厂商也逐渐来到光刻 ...
原文：EUV极紫外光刻技术
EUV极紫外光刻技术 极紫外光 波长为 . nm 的极紫外 EUV 光刻系统的最新发展，以取代 i 光刻。为了应对多图案成本上升的趋势，EUV 系统在曝光吞吐量 每小时晶圆数 ，曝光强度和系统正常运行时间方面已达到生产状态。 如上图所示，业界正在积极开展研发工作，以发布第二代 EUV 系统。该系统将在透镜路径中加入更高的数值孔径 NA . ，从而实现更精细的间距分辨率，并再次重新校准 EUV 多重 ...
2021-07-24 06:07 0 396 推荐指数：
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