光学薄膜技术
光学薄膜技术 光学薄膜技术是一项古老而又新型的光学技术，广泛应用于科研、 工业、 医疗、 航空、航天、国防等多个领域。随着应用领域的不断拓展， 光学薄膜技术已经发展成为一门独立的专业技术。光学薄膜的应用主要包括成像光学系统应用和非成像光学系统应用两个方面， 主要实现光谱选择、 光能量增强 ...
原文：薄膜产品技术亮点
薄膜产品技术亮点 ALD 设备 工作原理 工作原理 原子层沉积技术是将要参与反应的前驱物藉由不同的前驱物导管，如图 所示，一次只通入一种前驱物的方式，依序地将前驱物导引至反应腔体。并藉由基材表面饱和化学吸附，一次只吸附一层前驱物，过多的前驱物及副产物将由钝气Ar或N 冲洗 purge 带走，以达自我限制。 如图 所示，一个基本的原子层沉积循环包括四个步骤： .第一前驱物将被导引至基材表面，化学吸附 ...
2021-06-16 06:18 0 180 推荐指数：
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