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巨量轉移方式匯總

1.靜電力轉移技術   靜電力轉移技術是由LuxVue[1]於2013年提出,通過對轉移頭通電產生的靜電引力或斥力作為拾取和放置微器件的方法。轉移裝置如圖1a所示,單個轉移頭由帶有可獨立通電的單電極 ...

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