SECS/GEM通信协议学习笔记

了解下半导体设备现场的通讯协议，对于GEM的开发是半导体设备管理/生产/维护软件的一部分。 SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处 ...