SECS半导体设备通讯-2 HSMS通信标准
一 HSMS通信标准概述 HSMS定义了使用 TCP/IP 作为物理传输媒质时的通信接口。 HSMS使用TCP/IP流支持,提供了可靠的双向同步传输,可以用来作为SECS-I通信以及其他更高级的通 ...
一 HSMS通信标准概述 HSMS定义了使用 TCP/IP 作为物理传输媒质时的通信接口。 HSMS使用TCP/IP流支持,提供了可靠的双向同步传输,可以用来作为SECS-I通信以及其他更高级的通 ...
一 什么是SECS SECS(SEMI Equipment Communication Standard),半导体设备通讯标准。 此标准由SEMI (Semiconductor Equipment ...
一 SECS-II 概述 SECS-II 标准定义了使用如SECS-I、HSMS等传输协议在设备和主机之间交换的消息的形式和含义。 定义了以消息的形式在设备和主机之间传递信息,消息按其行为分类,称 ...
一 概述 GEM标准定义了通信链路上的半导体设备的行为。 SECS-II标准定义了在主机和设备之间交换的消息和相关数据项。GEM标准则定义了在哪种情况下应该使用哪些SECS-II消息以及由此产生的 ...