光刻機技術解析 利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對塗有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發生性質變化,從而使光罩上得圖形復印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件 ...
光刻機技術解析 利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對塗有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發生性質變化,從而使光罩上得圖形復印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。 簡單點來說,光刻機就是放大的單反,光刻機就是將光罩上的設計好集成電路圖形通過光線的曝光印到光感材料上,形成圖形。 上圖是 ...
2020-06-05 16:02 0 1724 推薦指數:
光刻機技術解析 利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對塗有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發生性質變化,從而使光罩上得圖形復印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件 ...
光刻機技術領地 上海微電子裝備(集團)股份有限公司(簡稱SMEE)主要致力於半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、制造、銷售及技術服務。公司設備廣泛應用於集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領域。 SMEE致力於以極致服務 ...
EUV光刻機市場與技術 EUV光刻機市場 EUV光刻機已經成為芯片制造的支柱,台積電和三星等晶圓廠這幾年不斷追逐5nm和3nm等先進工藝,本身就是EUV光刻機采購大戶,再加上現在這幾大晶圓廠紛紛擴產建廠,無疑又加大了對EUV光刻機的需求。 除了晶圓廠等邏輯廠商之外,存儲廠商也逐漸來到光刻機 ...
本文轉載自微信公眾號 - 半導體行業觀察 , https://mp.weixin.qq.com/s/Rb-FWbFocAZmdUDokSz4dg ...
光刻機與芯片制造 中芯國際風險量產7nm,國產光刻機也傳來捷報 芯片禁令實施之后,中國國內半導體領域發展迎來了黃金時期,各大企業不斷加大研發投入,就是希望能夠在這個關鍵時刻取得一定的突破,改變目前中國在芯片領域之中所面臨的困境。 國產芯片的未來有相關數據顯示,在去年一年之間,半導體企業就已經 ...
ASML光刻機PK 原子彈,難度? 一. 物理世界和網絡世界的交匯點:光刻機 光刻機的技術有多高級,看看這個知乎提問,可以感受一下: 有人這樣形容光刻機:這是一種集合了數學、光學、流體力學、高分子物理與化學、表面物理與化學、精密儀器、機械、自動化、軟件、圖像識別領域頂尖技術 ...
光刻技術發展 光刻機作用 光刻機(英文“Mask Aligner”) ,又名掩模對准曝光機,芯片制造流程中光刻工藝的核心設備。芯片的制造流程極其復雜,可以概括為幾大步驟:硅片的制備-->外延工藝-->熱氧化-->擴散摻雜-->離子注入-->薄膜制備-->光刻 ...
EUV極紫外光刻技術 (1)極紫外光 波長為 13.5nm 的極紫外 (EUV) 光刻系統的最新發展,以取代 193i 光刻。為了應對多圖案成本上升的趨勢,EUV 系統在曝光吞吐量(每小時晶圓數),曝光強度和系統正常運行時間方面已達到生產狀態。 如上圖所示,業界正在積極開展研發 ...