SECS半导体设备通讯-4 GEM通信标准
一 概述 GEM标准定义了通信链路上的半导体设备的行为。 SECS-II标准定义了在主机和设备之间交换的消息和相关数据项。GEM标准则定义了在哪种情况下应该使用哪些SECS-II消息以及由此产生的结果行为。图1.1说明了GEM、SECS-II和其他通信替代方案之间的关系。 GEM为所有半导体 ...
原文：SECS半导体设备通讯-1 SECS的基本概念
一 什么是SECS SECS SEMI Equipment Communication Standard ，半导体设备通讯标准。 此标准由SEMI Semiconductor Equipment and Materials International 国际半导体设备与材料产业协会 制定，用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。 SECS标准包括SECS I SECS II HSM ...
2022-03-24 10:44 0 4708 推荐指数：
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