ALD和CVD晶体管薄膜技术
ALD和CVD晶体管薄膜技术 现代微处理器内的晶体管非常微小，晶体管中的一些关键薄膜层甚至只有几个原子的厚度，光是英文句点的大小就够容纳一百万个晶体管还绰绰有余。ALD 是使这些极细微结构越来越普遍的一种技术。 ALD 工艺直接在芯片表面堆积材料，一次沉积单层薄膜几分之一的厚度，以尽可能生成 ...
原文：CVD和ALD薄膜沉积技术应用领域
CVD和ALD薄膜沉积技术应用领域 显示 用于OLED QD OLED 甚至未来QLED的薄膜封装，通过有机 无机叠层结构的保护，水汽渗透率WVTR可降至 g m day，保证OLED或者量子点发光材料的稳定。另外量子点光学膜QDEF也需要WVTR小于 . 的阻隔膜，保护量子点不受水氧破坏。 微电子 在包括miniLED microLED MMIC Monolithic microwave int ...
2021-05-17 06:22 0 1651 推荐指数：
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