光刻机技术解析 利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用。这就是光刻的作用,类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是电路图和其他电子元件 ...
光刻机技术解析 利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用。这就是光刻的作用,类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是电路图和其他电子元件。 简单点来说,光刻机就是放大的单反,光刻机就是将光罩上的设计好集成电路图形通过光线的曝光印到光感材料上,形成图形。 上图是 ...
2020-07-13 10:16 2 1363 推荐指数:
光刻机技术解析 利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用。这就是光刻的作用,类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是电路图和其他电子元件 ...
光刻机技术领地 上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。 SMEE致力于以极致服务 ...
EUV光刻机市场与技术 EUV光刻机市场 EUV光刻机已经成为芯片制造的支柱,台积电和三星等晶圆厂这几年不断追逐5nm和3nm等先进工艺,本身就是EUV光刻机采购大户,再加上现在这几大晶圆厂纷纷扩产建厂,无疑又加大了对EUV光刻机的需求。 除了晶圆厂等逻辑厂商之外,存储厂商也逐渐来到光刻机 ...
本文转载自微信公众号 - 半导体行业观察 , https://mp.weixin.qq.com/s/Rb-FWbFocAZmdUDokSz4dg ...
光刻机与芯片制造 中芯国际风险量产7nm,国产光刻机也传来捷报 芯片禁令实施之后,中国国内半导体领域发展迎来了黄金时期,各大企业不断加大研发投入,就是希望能够在这个关键时刻取得一定的突破,改变目前中国在芯片领域之中所面临的困境。 国产芯片的未来有相关数据显示,在去年一年之间,半导体企业就已经 ...
ASML光刻机PK 原子弹,难度? 一. 物理世界和网络世界的交汇点:光刻机 光刻机的技术有多高级,看看这个知乎提问,可以感受一下: 有人这样形容光刻机:这是一种集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术 ...
光刻技术发展 光刻机作用 光刻机(英文“Mask Aligner”) ,又名掩模对准曝光机,芯片制造流程中光刻工艺的核心设备。芯片的制造流程极其复杂,可以概括为几大步骤:硅片的制备-->外延工艺-->热氧化-->扩散掺杂-->离子注入-->薄膜制备-->光刻 ...
EUV极紫外光刻技术 (1)极紫外光 波长为 13.5nm 的极紫外 (EUV) 光刻系统的最新发展,以取代 193i 光刻。为了应对多图案成本上升的趋势,EUV 系统在曝光吞吐量(每小时晶圆数),曝光强度和系统正常运行时间方面已达到生产状态。 如上图所示,业界正在积极开展研发 ...